學術活動
微機電系統技術及其工程應用
2009-03-20
來源:科技處 點擊次數:
主讲人: 蒋永刚 博士(日本东北大学)
时 间: 2009年03月23日 13:30
地 点: 教三楼226
主 办: 尊龙凯时物理系
介 绍: 微机电系统手艺(MEMS)在微电子手艺的基础上生长起来的一门新手艺,通过集成微传感器、驱动器、甚至检测和控制电路,实现器件的高性能化和低本钱化,因而具有辽阔的应用远景。好比,加速率传感器、压力传感器、微陀螺、红外线热成像仪等已经在汽车和航空航天业中获得了普遍应用。通过MEMS手艺开发的高感度传感器,正在开拓太赫兹的未知领域,实现电子自旋的控制,为生物学和量子力学的生长提供着重大的推动实力;贛EMS手艺,还可以对人体的血糖、血压、体温、心电图实现集成无线检测,在未来老龄化社会里将起到不可替换的作用。